GB/T 42106-2022 纳米技术三维纳米结构与器件的加工方法离子束辐照诱导应变法

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语言版本：简体中文

标准类别：国家标准

关键词：纳米技术变法器件三维诱导

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适用范围：本文件提供了纳米技术三维纳米结构与器件的加工方法离子束辐照诱导应变法的快速检测方法与便携仪器应用规范，提升检测技术检测效率。

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