GB/T 42276-2022 氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定离子色谱法正式版

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语言版本：简体中文

标准类别：国家标准

关键词：色谱离子测定含量氮化

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标准简介

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适用范围：本文件明确了氮化硅粉体中氟离子和氯离子含量的测定离子色谱法正式版的方法验证与不确定度评定要求，适用于检测技术的质量控制。

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