GB∕T 24577-2009 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物
本标准规定了硅片表面的有机污染物的定性和定量方法,采用气质联用仪或磷选择检测器或者两者同时采用。本标准适用于硅抛光片和有氧化层的硅片。

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