GB/T 24577-2009 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物

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语言版本：简体中文

标准类别：国家标准

关键词：硅片色谱测定有机表面

标准简介

GB/T 24577-2009 热解吸气相色谱法测定硅片表面的有机污染物本标准规定了硅片表面的有机污染物的定性和定量方法,采用气质联用仪或磷选择检测器或者两者同时采用。本标准适用于硅抛光片和有氧化层的硅片。