GB/T 24574-2009 硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法

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语言版本：简体中文

标准类别：国家标准

关键词：杂质测试方法 GB 24574

标准简介

GB/T 24574-2009 硅单晶中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法本标准规定了硅单品中Ⅲ-Ⅴ族杂质的光致发光测试方法。本标准适用于低位错单晶硅中导电性杂质硼和磷含量的同时测定。本标准用于检测单品硅中含量为1×10^(11)at·cm^(-3)～5×10^(15)at·cm^(-3)的各种电活性杂质元素。