GB/T 42263-2022 硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法

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文件大小： 1.19 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 离子   测定   含量   二次   GB
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标准简介

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适用范围：本标准规定了硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法的技术管理规范，为国家标准的标准化建设提供重要参考。

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