GB/T 23414-2009 微束分析 扫描电子显微术 术语

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文件大小： 1.05 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 术语   扫描   电子   显微   分析
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标准简介

GB/T 23414-2009 微束分析 扫描电子显微术 术语 本标准定义了扫描电子显微术(SEM)实践中使用的术语。包括一般术语和按技术分类的具体概念的术语,也包括已经在ISO23833中定义的术语。 本标准适用于所有有关SEM 实践的标准化文件。另外,本标准的某些术语定义,也适用于相关领域的文件〔例如:电子探针显微分析(EPMA)、分析电子显微术(AEM)、能谱法(EDX)等〕。
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