GB/T 41853-2022 半导体器件 微机电器件 晶圆间键合强度测量

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文件大小： 5.67 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 器件   微机   强度   测量   半导体器件
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标准简介

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适用范围：本文件规定了半导体器件 微机电器件 晶圆间键合强度测量的技术规范与实施要求，为国家标准的工程项目提供技术依据。

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