GB/T 41852-2022 半导体器件 微机电器件 MEMS结构黏结强度的弯曲和剪切试验方法

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文件大小： 3.92 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 剪切   器件   弯曲   微机   强度
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标准简介

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适用范围：本标准涵盖了半导体器件 微机电器件 MEMS结构黏结强度的弯曲和剪切试验方法的主要技术内容，是检测技术领域的重要参考文件。

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