GB/T 24581-2022 硅单晶中III、V族杂质含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法

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语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 杂质   光谱   变换   低温   测定
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标准简介

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适用范围：本标准明确了硅单晶中III、V族杂质含量的测定 低温傅立叶变换红外光谱法的技术管理要求，适用于国家标准的设计、制造与检验工作。

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