GB/T 32280-2022 硅片翘曲度和弯曲度的测试自动非接触扫描法

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语言版本：简体中文

标准类别：国家标准

关键词：硅片弯曲扫描测试自动

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标准简介

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适用范围：本文件明确了硅片翘曲度和弯曲度的测试自动非接触扫描法的方法验证与不确定度评定要求，适用于检测技术的质量控制。

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