GB/T 41325-2022 集成电路用低密度晶体原生凹坑硅单晶抛光片

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语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 抛光   集成电路   晶体   密度   原生
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标准简介

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适用范围：本标准明确了集成电路用低密度晶体原生凹坑硅单晶抛光片的技术管理要求，为国家标准的技术规范实施提供全面支持。

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