GB/T 41153-2021 碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法

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语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 杂质   离子   测定   含量   碳化硅
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标准简介

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适用范围：本标准对碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法的技术活动作出了具体规定，为国家标准的技术管理工作提供统一依据。

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