GB/T 25915.10-2021 洁净室及相关受控环境 第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级

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文件大小: 31 MB
语言版本: 简体中文
标准类别: 国家标准
关键词: 洁净   浓度   等级   划分   化学

标准简介

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适用范围:本标准针对GB/T 25915.10-2021 洁净室及相关受控环境 第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级提出了环境质量指标与污染防治要求,为环境保护提供技术依据。

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