GB/T 40110-2021 表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定硅片表面元素污染

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文件大小： 12.16 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 硅片   荧光   光谱   射线   测定
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标准简介

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适用范围：本标准涵盖了表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定硅片表面元素污染的主要环保技术内容，是环境保护领域的重要参考文件。

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