GB/T 40279-2021 硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法

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文件大小： 645.35 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 硅片   薄膜   厚度   反射   测试
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标准简介

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适用范围：本文件规定了硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法的检测方法标准与试验规范，适用于检测技术的实验室分析与现场检测。

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