GB/T 14146-2021 硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法

文件格式： PDF文档
文件大小： 12.93 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 电容   电压   浓度   测试   载流子
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标准简介

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适用范围：本标准涵盖了硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法的主要技术内容，是检测技术领域的重要参考文件。

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