GB/T 4298-1984 半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法

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文件大小： 766.4 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 杂质   半导体   元素   材料   方法
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标准简介

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适用范围：本文件规定了半导体硅材料中杂质元素的活化分析方法的生产标准与质量检测规范，适用于产品制造的设计、制造与出厂检验。

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