GB/T 39145-2020 硅片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法

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语言版本：简体中文

标准类别：国家标准

关键词：硅片耦合体质测定含量

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标准简介

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适用范围：本文件提供了硅片表面金属元素含量的测定电感耦合等离子体质谱法的技术指南与操作规范，为国家标准的技术创新提供系统性的规范支撑。

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