GB/T 32817-2016 半导体器件 微机电器件 MEMS总规范

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文件大小： 1.25 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 器件   微机   规范   半导体器件   GB
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标准简介

GB/T 32817-2016 半导体器件 微机电器件 MEMS总规范 本标准描述了用半导体制造的微机电系统(MEMS)的总规范,规定了用于IECQ-CECC体系质量评定的一般规程,给出了电、光、机械和环境特性的描述和测试的总则。本标准适用于各类MEMS器件[如传感器、射频MEMS,但不包括光MEMS、生物MEMS、微全分析系统(Micro-TAS)和微能源MEMS]。
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