GB/T 32816-2016 硅基MEMS制造技术以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范

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语言版本：简体中文

标准类别：国家标准

关键词：集成工艺核心规范制造

标准简介

GB/T 32816-2016 硅基MEMS制造技术以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范本标准规定了采用以深刻蚀与键合为核心的工艺集成进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。本标准适用于基于以深刻蚀与键合为核心的工艺集成的加工和质量检验。