GB/T 32816-2016 硅基MEMS制造技术以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范_国家标准

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资料语言： 简体中文

发布日期： 2016-08-29

实施日期： 2017-03-01

标准状态： 现行有效

更新日期： 2019-10-16

简介

GB∕T 32816-2016 硅基MEMS制造技术以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范
本标准规定了采用以深刻蚀与键合为核心的工艺集成进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。本标准适用于基于以深刻蚀与键合为核心的工艺集成的加工和质量检验。

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