GB/T 32815-2016 硅基MEMS制造技术体硅压阻加工工艺规范

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语言版本：简体中文

标准类别：国家标准

关键词：工艺加工规范制造技术

标准简介

GB/T 32815-2016 硅基MEMS制造技术体硅压阻加工工艺规范本标准规定了采用体硅压阻工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于背腔腐蚀和硅-玻璃键合的体硅压阻加工工艺的加工和质量检验。