GB/T 32814-2016 硅基MEMS制造技术基于SOI硅片的MEMS工艺规范_国家标准

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资料语言： 简体中文

发布日期： 2016-08-29

实施日期： 2017-03-01

标准状态： 现行有效

更新日期： 2019-10-16

简介

GB∕T 32814-2016 硅基MEMS制造技术基于SOI硅片的MEMS工艺规范
本标准规定了采用SOI硅片进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于SOI硅片的MEMS器件的加工和质量检验。

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