GB/T 32814-2016 硅基MEMS制造技术基于SOI硅片的MEMS工艺规范

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语言版本：简体中文

标准类别：国家标准

关键词：硅片基于工艺规范制造

标准简介

GB/T 32814-2016 硅基MEMS制造技术基于SOI硅片的MEMS工艺规范本标准规定了采用SOI硅片进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于SOI硅片的MEMS器件的加工和质量检验。