GB/T 38341-2019 微机电系统(MEMS)技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法

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文件大小: 1.22 MB
语言版本: 简体中文
标准类别: 国家标准
关键词: 器件   微机   综合   系统   可靠性

标准简介

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适用范围:本文件规定了微机电系统(MEMS)技术 MEMS器件的可靠性综合环境试验方法的环保技术要求与管理规范,适用于环境保护的污染治理、生态保护与监测。

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