GB/T 37049-2018 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法

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语言版本：简体中文

标准类别：国家标准

关键词：耦合杂质体质测定金属

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标准简介

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适用范围：本文件提供了电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定电感耦合等离子体质谱法的标准化实施规范，为国家标准的标准化实施提供技术指南。

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