GB/T 33826-2017 玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法

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文件大小： 3.36 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 薄膜   厚度   纳米   测量   玻璃
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标准简介

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适用范围：本文件规定了玻璃衬底上纳米薄膜厚度测量 触针式轮廓仪法的基本技术准则，为国家标准的技术管理提供系统性的规范支撑。

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