GB/T 34326-2017 表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法

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文件大小： 6.69 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 对准   剖析   密度   深度   及其
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标准简介

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适用范围：本文件明确了表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法的方法验证与不确定度评定要求，适用于检测技术的质量控制。

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