GB/T 34177-2017 光刻用石英玻璃晶圆

文件格式： PDF文档
文件大小： 2.92 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 光刻   石英玻璃   GB   34177   2017
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标准简介

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适用范围：本文件明确了光刻用石英玻璃晶圆的管理规定与实施要求，适用于国家标准的日常管理与技术监督。

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