GB/T 34900-2017 微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构残余应变测量方法

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文件大小： 989.2 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 残余   应变   微机   基于   干涉
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标准简介

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适用范围：本文件规定了微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构残余应变测量方法的检测方法标准与试验规范，适用于检测技术的实验室分析与现场检测。

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