GB/T 34894-2017 微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构 应变梯度测量方法

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语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 梯度   应变   微机   基于   干涉
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标准简介

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适用范围：本标准涵盖了微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构 应变梯度测量方法的主要技术内容，是检测技术领域的重要参考文件。

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