GB/T 34893-2017 微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法

文件格式： PDF文档
文件大小： 705.6 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 微机   长度   基于   干涉   微结构
进入标准下载页面

标准简介

说明：本站提供 GB/T 34893-2017 微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法 的PDF全文下载。

适用范围：本标准针对微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法提出了仪器设备与操作步骤的技术要求，确保检测技术检测结果准确可靠。

相关推荐