GB/T 34481-2017 低位错密度锗单晶片腐蚀坑密度(EPD)的测量方法

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语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 晶片   腐蚀   密度   低位   测量方法
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标准简介

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适用范围：本标准针对低位错密度锗单晶片腐蚀坑密度(EPD)的测量方法提出了仪器设备与操作步骤的技术要求，确保检测技术检测结果准确可靠。

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