GB/T 32495-2016 表面化学分析 二次离子质谱 硅中砷的深度剖析方法

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语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 剖析   离子   深度   二次   方法
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标准简介

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适用范围：本文件明确了表面化学分析 二次离子质谱 硅中砷的深度剖析方法的方法验证与不确定度评定要求，适用于检测技术的质量控制。

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