GB/T 32281-2015 太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法

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语言版本: 简体中文
标准类别: 国家标准
关键词: 硅片   离子   测定   太阳   能级

标准简介

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适用范围:本文件规定了太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法的技术规范与管理要求,适用于能源的行业管理与质量评价。

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