GB/T 32280-2015 硅片翘曲度测试 自动非接触扫描法

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文件大小： 860.13 KB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 硅片   扫描   测试   自动   接触
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标准简介

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适用范围：本标准涵盖了硅片翘曲度测试 自动非接触扫描法的主要技术内容，是检测技术领域的重要参考文件。

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