GB/T 32189-2015 氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法

文件格式： PDF文档
文件大小： 1.04 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 显微镜   粗糙   原子   表面   检验
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标准简介

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适用范围：本文件提供了氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法的快速检测方法与便携仪器应用规范，提升检测技术检测效率。

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