GB/T 30701-2014 表面化学分析 硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定

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文件大小： 7.92 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 硅片   荧光   光谱   射线   样品
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标准简介

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适用范围：本标准针对表面化学分析 硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定提出了仪器设备与操作步骤的技术要求，确保检测技术检测结果准确可靠。

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