GB/T 30653-2014 Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法

文件格式： PDF文档
文件大小： 1.94 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 结晶   测试   氮化物   质量   外延
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标准简介

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适用范围：本文件规定了Ⅲ族氮化物外延片结晶质量测试方法的检测方法标准与试验规范，适用于检测技术的实验室分析与现场检测。

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