GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法

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语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 薄膜   显微镜   粗糙   原子   测量
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标准简介

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适用范围：本标准涵盖了原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法的主要技术内容，是检测技术领域的重要参考文件。

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