GB/T 31225-2014 椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法

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语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 椭圆   厚度   测量   偏振   薄层
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标准简介

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适用范围：本标准针对椭圆偏振仪测量硅表面上二氧化硅薄层厚度的方法提出了仪器设备与操作步骤的技术要求，确保检测技术检测结果准确可靠。

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