GB/T 30868-2014 碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法

文件格式： PDF文档
文件大小： 1.99 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 国家标准
关键词： 晶片   腐蚀   测定   密度   化学
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标准简介

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适用范围：本文件规定了碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法的技术实施准则，适用于国家标准的技术交流与合作。

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