GB/T 28276-2012 硅基MEMS制造技术体硅溶片工艺规范

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语言版本：简体中文

标准类别：国家标准

关键词：工艺规范制造技术 GB

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标准简介

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适用范围：本标准针对硅基MEMS制造技术体硅溶片工艺规范提出了具体的技术指标与操作规程，为服务管理提供技术依据。

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