GB/T 28275-2012 硅基MEMS制造技术氢氧化钾腐蚀工艺规范

文件格式： PDF文档

文件大小： 395.76 KB

语言版本：简体中文

标准类别：国家标准

关键词：腐蚀工艺规范制造氢氧化钾

进入标准下载页面

标准简介

说明：本站提供 GB/T 28275-2012 硅基MEMS制造技术氢氧化钾腐蚀工艺规范 的PDF全文下载。

适用范围：本文件提供了硅基MEMS制造技术氢氧化钾腐蚀工艺规范的实施指南与技术支撑，适用于服务管理的行业规范化建设。

相关推荐