DB31/506-2020 集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额

文件格式： PDF文档
文件大小： 2.48 MB
语言版本： 简体中文
标准类别： 上海市
关键词： 集成电路   限额   制造   产品   能源消耗
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标准简介

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适用范围：本标准对集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额的技术活动提出了规范性要求，DB31/506-2020 是上海市地方标准，为能源提供全面的技术指导。

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